Newport Corporation -- Franklin Facility -- Replication Limitations

光学复制技术的缺陷

应用于光学复制的光学镀膜技术可以满足绝大部分应用的需求，适用的光谱范围可以从X光谱一直到远红外光谱。应用在光学复制技术中的各种基座材料也能够保证元件的热稳定性。但是光学复制工艺中使用的环氧树脂填充层的局限，限制了光学复制工艺在下列情况下的应用：

非常高的储存及操作温度
需要高温沉积的特别镀膜层
高能连续输出激光的用途
高能短脉冲激光的用途
超轻量化，并对热形变有特殊要求的用途
某些谱段有透过率要求的用途

理波光电富兰克林工厂针对普通光学复制产品使用的环氧树脂可以用于80° ~125°C存储及使用温度的环境。并可以根据客户的要求提供可以在300°C以下环境使用的特种环氧树脂，但是由于这类粘合剂只能用比较高的温度固化，对高精度光学复制件的合格率有一定的影响，因此耐高温产品一般的精度比常规产品低。对于环氧树脂可以使用的低温极限，一般都可以在液氮温度环境下使用，甚至可以在液氦的温度下使用。

高温沉积镀膜层可以复制在平面的光学复制件上，由于平面的模具是玻璃材质的。这类的模具镀上脱模剂后可以加热到300°C，不会损坏。对于非球面而言，由于用于最终复制的模具（子模）本身就含有一层环氧树脂填充层，因此不能加热到比较高的温度，因此对某些需要镀有高温沉积膜层的用途有一定的限制。

在某些时候，可以用玻璃的非球面直接作为复制的子模，在这种情况下，模具镀高温膜层的问题可以解决；但是考量需要制作多个玻璃子模需要很高的费用，这种方法有可能不切实际。

高能激光的用途

光学复制的元件目前正使用在很多于激光相关的用途中，从激光介质的角度分类，包括二氧化碳激光、准分子激光、激光二极管、氦氖激光以及YAG固体激光等等。是否可以应用主要取决于使用时产生的热量对环氧树脂填充层的影响。对于脉冲激光，它主要取决于激光脉冲对于镀膜层及环氧树脂填充层的渗透。一个比较简易的判别方法是，只要玻璃反射镜不可以应用的用途，复制件也不能应用。一般我们可以使用在波长1065nm、脉冲激光能量在80 MW/cm2的环境下（膜层为介电、铝膜）。

热形变

由于环境温度的改变，我们一般可以计算出光学复制件的热形变。但是对于特别高精度的表面要求(i.e. 1/20 波长)、超轻量化基板，这种形变的影响较大。如果这类用途，我们认为可以采用化学渗镍工艺，并且直接在元件上抛光，以满足精度的要求。